凈化室的溫度濕度關鍵是依據加工工藝規定來明確，但在考慮加工工藝規定的標準下，應充分考慮人的舒適感感。隨之氣體潔凈度等級規定的提升，出現了加工工藝對溫度濕度的規定也愈來愈嚴的發展趨勢。
潔凈工程實際加工工藝對溫度的規定之后也要例舉，但做為總體標準看，因為生產加工精密度愈來愈細致，因此對溫度起伏范疇的規定愈來愈小。比如在規模性集成電路芯片生產制造的光刻曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與硅片的線膨脹系數的差規定愈來愈小。直徑100 um的硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um線形澎漲，因此務必有±0.1度的控溫，另外規定環境濕度值通常較低，由于人流汗之后，對商品將有環境污染，非常是怕鈉的半導體材料生產車間，這類生產車間不適合超出25度。
環境濕度過高造成的難題大量。空氣濕度超出55%時，冷卻循環水壁厚上面冷凝水，假如產生在高精密設備或電源電路中，就會造成各種各樣安全事故。空氣濕度在50%最易銹蝕。除此之外，環境濕度太高時將根據氣體中的氧分子把硅片表層黏著的塵土有機化學吸咐在表層耐無法消除。空氣濕度越高,黏附的難除掉，但當空氣濕度小于30%時，又因為靜電力的功效使物體也非常容易吸咐于表層，另外很多集成電路工藝非常容易產生熱擊穿。針對硅片生產制造最好溫度范疇為35—45%。
凈化室中的標準氣壓要求
針對絕大多數清潔室內空間，為了防止外部環境污染入侵，必須維持內部的工作壓力（負壓）高過外界的工作壓力（負壓）。壓差的保持通常應合乎下列標準：
1．清潔室內空間的工作壓力要高過非清潔室內空間的工作壓力。
2.潔凈度等級級別高的室內空間的工作壓力要高過鄰近的潔凈度等級級別低的室內空間的工作壓力。
3.互通凈化室中間的門要開向潔凈度等級級別高的屋子。
壓差的保持借助排風量，這一排風量能夠賠償在這里一壓差下從間隙泄漏掉的排風量。因此壓差的物理學實際意義就是說泄漏（或滲入）排風量根據凈化室的各種各樣間隙時的摩擦阻力。
凈化室中的氣旋速率要求
這兒要探討的氣旋速率就是指清潔房間內的氣旋速率，在別的清潔室內空間中的氣旋速率在探討實際機器設備時再表明。
針對亂流凈化室 因為主關鍵靠氣體的稀釋液功效來緩解室內空氣污染的水平，因此關鍵用換風這一定義，而不立即用速率的定義，但是對室內氣流速率也是以下規定；
(1)正壓送風口出入口氣旋速率不適合很大，和單純性中央空調屋子對比，規定速率衰減系數迅速，外擴散視角更大。
(2)吹過海平面的氣旋速率（比如側送時流回速率）不適合很大，以防吹動表層顆粒重回氣旋，而導致再環境污染，這一速率通常不適合大干0.2m/s。
針對平行面流凈化室《習慣性稱為層.流凈化室），因為關鍵靠氣旋的“活塞桿打擠壓成型功效清除行染，因此橫截面上的速率就是說十分關鍵的指標值。以往都參照英國20gB規范，選用0.45m/s．但大家也都掌握到那樣大速率所必須的自然通風量是巨大的，以便環保節能，也都會探索減少速一風力的可行性分析。
在中國，《氣體清潔技術性對策》和<凈化車間設計標準））全是那樣要求的
豎直平行面流（層.流）凈化室≥0.25m/s
水準平行面流（層.流）凈化室≥0.35 m/s
科學研究說明左右要求大部分考慮操縱環境污染的規定，但覺得應差別不一樣狀況分離出來不一樣的檔別，更能反映環保節能的目地。
